等離子增強(qiáng)型CVD系統(tǒng)

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

? 150W射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度

  ? 3通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行**的調(diào)控 

工作電源

 ? AC208-220V，50/60Hz

? 總功率：4KW

單溫區(qū)管式爐

 ? *高溫度：1100oC(< 2h) 連續(xù)工作溫度：1000℃

 ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng) 

? 輸入功率：220V，單相，功率：1.5KW

? 加熱區(qū)長度：200mm，恒溫區(qū)：100mm 

? 爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管 

等離子射頻電源

? 輸出功率：0-150W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%）

? 射頻頻率：13.56MHz(穩(wěn)定性：±0.005%)

? *大反射功率：150W

 ? 匹配：手動(dòng)匹配

? 射頻輸出端口：50Ω、N型

? 噪音：＜50dB

? 冷卻: 空氣冷卻

? 電源: 220VAC, 50/60Hz 

石英管

? 高純石英管

? 尺寸：φ50mm*1200mm L 

密封法蘭  

? 一對(duì)不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）

真空泵（該部分為選配，單獨(dú)計(jì)費(fèi)）

? 雙級(jí)真空泵 

? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 

3通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)（該部分為選配，單獨(dú)計(jì)費(fèi)）

? 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的**控制（**度：±0.02%） 

? 流量范圍: 

一路: 0~100 SCCM 

二路: 0~200 SCCM 

三路: 1~200 SCCM 

? 電壓：220V AC 50/60Hz

? 氣體進(jìn)出口配件：直徑6.35mm不銹鋼管

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出

尺寸和重量

 ? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H

 ? 凈重：90kg  

質(zhì)保期

? 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外）

質(zhì)量認(rèn)證

 ? CE認(rèn)證 

使用注意事項(xiàng)

? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 

? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥 

? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 

? 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

 ? 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃

 ? 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，使用時(shí)不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生。