詳細(xì)介紹
DX型數(shù)字測量顯微鏡介紹
DX測量顯微鏡系列是觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
DX型數(shù)字測量顯微鏡特點(diǎn)
●視場寬闊,可得清晰無閃爍正像
●高精度測量,同時具有大測量范圍和高精度,適用于各種測量
●可選用高NA物鏡,滿足長工作距離的測量要求
●照明裝置(反射/透射)可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
●利用可變孔徑光闌進(jìn)行無衍射觀察測量
●各類尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺
●快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數(shù)量多的快速移動工作臺
●高位目鏡觀察
●便捷CCD圖像成像,可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
DX型數(shù)字測量顯微鏡觀察成像
偏光觀察
觀察過濾后只有一個方向振動的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料,如礦石和液晶。
微分干涉對比觀察
在檢測金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時很有效。
暗視場觀察
擋住直射到物體上的光,只觀察散射光,通過高對比度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。
亮視場觀察
最普通的觀察方式,直接觀察從工件表面反射的光。
新功能增強(qiáng)Z軸測量精度
●輔助對焦(FA)
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對焦(FA)提供更銳利的圖案,可在Z軸測量期間提供精確對焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測量誤差被降到。
對焦前端對焦后端對焦
DX型數(shù)字測量顯微鏡規(guī)格
●無限遠(yuǎn)系統(tǒng),管鏡200mm
●傾斜角度30°,瞳孔距離55-75mm,正像
●高眼點(diǎn),大視場WF10/22
●鼻輪螺紋M26X0.706
●Z軸的長度180mm,微動精度0.002mm,測量精度(at20℃),XY-軸的(2.5+0.02L)um,L=測量長度(mm)在沒有放物體分辨率為0.001mm
●12V50W反射鹵素?zé)?br>
●3W高亮度LED光源
●可配置輔助調(diào)焦裝置(FA)
DX型數(shù)字測量顯微鏡技術(shù)參數(shù)