霍爾離子源 eH 3000 伯東代理

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更新時(shí)間：2021-12-28 15:04:30瀏覽次數(shù)：407次

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

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所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：葉南晶（銷售助理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	進(jìn)口	產(chǎn)品新舊	全新

上海伯東代理美國(guó)進(jìn)口 KRI 霍爾離子源 eH 3000 適合大型真空系統(tǒng), 與友廠大功率離子源對(duì)比, eH 3000 是目前市場(chǎng)上高效, 提供高離子束流的離子源.

詳細(xì)介紹

KRI 霍爾離子源 eH 3000
上海伯東代理美國(guó)進(jìn)口 KRI 霍爾離子源 eH 3000 適合大型真空系統(tǒng), 與友廠大功率離子源對(duì)比, eH 3000 是目前市場(chǎng)上高效, 提供高離子束流的離子源.
尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6"
放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體

KRI 霍爾離子源 eH 3000 特性
• 水冷 - 加速冷卻
• 可拆卸陽(yáng)極組件 - 易于維護(hù); 維護(hù)時(shí), 大限度地減少停機(jī)時(shí)間; 即插即用備用陽(yáng)極
• 寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
• 多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便
• 高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制

KRI 霍爾離子源 eH 3000 技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	eH3000 / eH3000L / eH3000M / eH3000LE
供電	DC magnetic confinement
- 電壓	50-250V VDC
- 離子源直徑	~ 7 cm
- 陽(yáng)極結(jié)構(gòu)	模塊化
電源控制	eHx-25020A
配置	-
- 陰極中和器	Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode
- 離子束發(fā)散角度	> 45° (hwhm)
- 陽(yáng)極	標(biāo)準(zhǔn)或 Grooved
- 水冷	前板水冷
- 底座	移動(dòng)或快接法蘭
- 高度	4.0'
- 直徑	5.7'
- 加工材料	金屬電介質(zhì) 半導(dǎo)體
- 工藝氣體	Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors
- 安裝距離	16-45"
- 自動(dòng)控制	控制4種氣體