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更新時間:2021-10-06 19:18:38瀏覽次數(shù):279次
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上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源 (柵網(wǎng)離子源) KDC40. 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射. 適用于已知的所有離子源應(yīng)用.離子束流: 100 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲, 流量 (Typical flow): 2-10 sccm.加熱燈絲產(chǎn)生電子, 增強(qiáng)設(shè)計輸出高質(zhì)量, 穩(wěn)定的電子流.離子源采用模塊化設(shè)計,......
伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術(shù)參數(shù):
離子源型號 | 離子源 KDC 40 |
Discharge | DC 熱離子 |
離子束流 | >100 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 4 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 2-10 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 17.1 cm |
直徑 | 9 cm |
中和器 | 燈絲 |
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