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CTI On-board 低溫泵

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更新時間：2021-10-06 18:18:21瀏覽次數(shù)：448次

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產(chǎn)品簡介

CTI-Cryogencis On-Board 低溫真空泵加速集成和改進的系統(tǒng)操作在可靠性和性能方面已達到世界標準. On-Board 低溫泵配有完整的集成控制和外圍附件支持, 提供了更長的運行時間, 以提高工具的整體生產(chǎn)效率, 從而增加了整體設(shè)備的產(chǎn)能和持續(xù)性能.CTI-Cryogencis On-Board 低溫泵主要特性:1. 快速 Regen 功能, 可在再生間......

詳細介紹

CTI On-board 低溫泵技術(shù)參數(shù)：

CTI On-board 低溫泵技術(shù)參數(shù):

On-Board 低溫泵型號	4F	8	8F	10	10F	250F	400	500
抽速 (L/S)
水汽	1,100	4,000	4,000	9,000	9,500	6,500	17,500	30,000
空氣	370	1,500	1,500	3,000		2,200	6,000	10,000
氫	370	2,500	2,200	5,000		3,200	12,000	12,000
氬	310	1,200	1,200	2,500		1,800	5,000	8,400
容量（標準升）
氬	210	1,000	1,000	2,000		1,000	2,500	6,000
氫 (5x10-6 Torr)	3	17	12	24	24	16	42	45
常規(guī)再生時間（冷態(tài)至冷態(tài)）
級和第二級	75 分鐘	2.5 小時	2.5 小時	2.5 小時	2.5 小時	<3.3 小時	3 小時	<3.8 小時
第二級	<1 小時	<1 小時	<1 小時	<1 小時	<1 小時	<1.5 小時	<1.5 小時