詳細(xì)介紹
ZYFB-1200復(fù)合分子泵
分類
這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。
工作條件
(1)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min,故分子泵啟動(dòng)時(shí)間較長(zhǎng)。
(2)氣體處于分子流狀態(tài),故需要配備前級(jí)泵,一般使用旋片泵作為前級(jí)泵。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國(guó) Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵,可以做到*無(wú)油,且不用前級(jí)泵直接向大氣中排氣。
ZYFB-1200復(fù)合分子泵
設(shè)計(jì)要點(diǎn)
在復(fù)合分子泵的設(shè)計(jì)中,必須處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小,在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變,使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)轉(zhuǎn)換處加上過(guò)渡級(jí)結(jié)構(gòu),以提高泵的抽氣性能。
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn),其應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵,縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間,并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。
ZYFB-1200復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵,是由渦輪分子泵和盤(pán)式牽引泵組合而成,它同時(shí)具有渦輪分子泵分子流時(shí)抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強(qiáng)時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),擴(kuò)展了復(fù)合分子泵的應(yīng)用范圍。
復(fù)合分子泵對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應(yīng),由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。