飛納電鏡 -- 從飛利浦到賽默飛，是最“老”的電鏡，也是最“新”的電鏡

為什么說飛納電鏡是最“老"的電鏡？

這個故事要追溯到1939年 >>>

1939 年夏天，代爾夫特理工大學(xué)的 Le Poole 提出了制造電子顯微鏡的構(gòu)想，盡管當(dāng)時這一技術(shù)在生物學(xué)研究中的應(yīng)用尚存爭議。Le Poole 不畏挑戰(zhàn)，于 1941 年成功研制出兩級電子顯微鏡，并拍攝了首張電子顯微照片。面對 40kV 加速電壓的限制，他與飛利浦物理實(shí)驗室合作，開發(fā)了 150kV 電子顯微鏡，于 1944 年春季成功研制，標(biāo)志著電子顯微鏡技術(shù)的一大飛躍。

Le Poole 的創(chuàng)新不僅限于提高電壓，還包括在物鏡與投影鏡頭間加入額外鏡頭，實(shí)現(xiàn) 6400 倍至 80,000 倍的連續(xù)放大，以及引入小孔鏡頭實(shí)現(xiàn)無需移動樣品的衍射模式切換。這些創(chuàng)新后來成為飛利浦商業(yè)產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)特性，1949 年，飛利浦推出了第一臺商業(yè)化電鏡 EM100。

隨著技術(shù)的發(fā)展，飛利浦在 1954 年推出了以大尺寸物鏡減少球差、提升圖像質(zhì)量的 EM75 型透射電子顯微鏡。1966 年，飛利浦 EM300 實(shí)現(xiàn)了 2.5 埃的分辨率，推出六級透鏡系統(tǒng)。1972 年，飛利浦進(jìn)軍掃描電鏡 SEM 市場，推出了高分辨率的 PSEM500 型號，并在 1997 年推出了能在常規(guī)及低加速電壓下提供清晰圖像的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。

1996 年，飛利浦電子光學(xué)公司的母公司 Philips Electronics N.V. 收購了 FEI 55% 的股份，并在 1997 年將 FEI 與飛利浦電子光學(xué)業(yè)務(wù)合并，形成了新的 FEI 公司。這一合并不僅讓飛利浦獲得了 ElectroScan 的 ESEM 技術(shù)，也增強(qiáng)了其技術(shù)實(shí)力，F(xiàn)EI 隨后推出了一系列新產(chǎn)品，并在 FIB 市場的地位得到加強(qiáng)。

飛利浦與 FEI 的結(jié)合，不僅是技術(shù)的融合，更是歷史的傳承，共同推動了電子顯微鏡技術(shù)的發(fā)展，為全球科研和工業(yè)領(lǐng)域提供了強(qiáng)大的工具。

第一臺商業(yè)化電鏡 EM100

第一臺飛納電鏡的誕生

2006 年，F(xiàn)EI 成立 Phenom World 公司，發(fā)布第一臺臺式掃描電子顯微鏡飛納（Phenom）,放大倍數(shù) 10,000 倍，

2012 年 3 月，Karel.Mast 教授帶領(lǐng)原飛利浦電鏡部門精英研發(fā)出電鏡能譜一體機(jī)，能譜探頭從此可以安全地待在電鏡外殼內(nèi)部；同時推出 3D 粗糙度測量等軟件；2013 年 4 月，Phenom World 優(yōu)化 CeB 燈絲和內(nèi)部防震設(shè)計，將分辨率優(yōu)化到 17nm, 正式推出第三代產(chǎn)品，放大倍數(shù) 100,000 倍，與大型鎢燈絲電鏡分辨率接近，同年 11 月推出顆粒測量統(tǒng)計系統(tǒng)；其后不久，Phenom World 推出了新產(chǎn)品 Phenom XL, 可容納樣品尺寸 100x100mm,可選配二次電子，支持原位拉伸/壓縮等測試，拓展功能媲美大型鎢燈絲電鏡；同時推出了孔徑測量統(tǒng)計系統(tǒng)；2015 年，PhenomWorld 推出第 4 代產(chǎn)品，分辨率達(dá)到 14nm，放大倍數(shù) 13 萬倍。

2016 年，飛納電鏡發(fā)布第 5 代產(chǎn)品，分辨率突破 10nm。同年 FEI 被賽默飛世爾科技以 42 億美元收購，2018 年，PhenomWorld 公司被賽默飛收購，從此電鏡產(chǎn)品線更名為 Thermo Scientific 品牌，但技術(shù)上仍繼承了 FEI 的創(chuàng)新成果。

所以飛納電鏡的機(jī)身 Logo，歷經(jīng)了 3 代變化。，不過不管 Logo 怎么變化，都是我們飛納電鏡。來看看你正在使用的飛納電鏡，是哪個 Logo 吧。

香港理工大學(xué)的飛納電鏡 Phenom Pro G1，你發(fā)現(xiàn)了嗎？機(jī)身 Logo 是 FEI，已經(jīng)服役 14 年，目前還在正常使用。FEI Logo 的飛納電鏡用戶，都已經(jīng)使用 10 年以上啦。

天津農(nóng)學(xué)院的飛納電鏡 Phenom Pro（上圖），北京沃爾德金剛石工具股份有限公司的飛納電鏡Phenom XL（下圖,100x100mm大樣品倉室版本），你發(fā)現(xiàn)了嗎？機(jī)身 Logo 位于底部中間位置，是 Phenom World 標(biāo)志。目前也分別服役 6 年和 8 年啦，天津農(nóng)學(xué)院還搭配了冷臺使用，可直接觀測含水樣品。

現(xiàn)在，你應(yīng)該已經(jīng)明白了飛納電鏡為何能被譽(yù)為最“老"的電鏡了吧。這里的“老"，可不是指年紀(jì)大、“行動"遲緩，而是指它那百年的技術(shù)傳承，悠久的歷史和成熟穩(wěn)定的技術(shù)。飛納電鏡，全球 5000+ 用戶選擇，不僅僅是一個品牌，它是一種承諾，一種對高品質(zhì)的不懈追求。選擇飛納，就是選擇了一個歷經(jīng)時間考驗，卻又永遠(yuǎn)走在時代前沿的伙伴。

那么為什么說飛納電鏡也是最“新"的電鏡呢？我們下篇繼續(xù)為您詳細(xì)講解。