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詳細(xì)介紹
簡介
正置顯微鏡用電動(dòng)XYZ平臺(tái)專門設(shè)計(jì)用于提供高分辨率和高度可重復(fù)的控制平臺(tái) X、Y 和 Z 位置。 該平臺(tái)適合于任何需要超精確 XYZ 定位的應(yīng)用。 以型號(hào)FTP-2000的正置顯微鏡用電動(dòng)XYZ平臺(tái)為例，所有軸都通過使用采用高分辨率旋轉(zhuǎn)編碼器進(jìn)行定位反饋的閉環(huán)直流伺服電機(jī)來實(shí)現(xiàn)精確控制。 FTP-2000 平臺(tái)采用交叉滾柱滑軌、高精度絲杠和零背隙微型齒輪直流伺服電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)準(zhǔn)確的運(yùn)動(dòng)。 微處理器控制的 MS-2000 控制單元提供與主機(jī)的 RS-232 和 USB 通信。
特點(diǎn)（型號(hào)FTP-2000 ）
- X、Y 和 Z 軸的閉環(huán)直流伺服控制，可實(shí)現(xiàn)精確定位和高度可重復(fù)的聚焦
- XY 操縱桿控制的寬動(dòng)態(tài)速度范圍
- 采用 LS 系列線性平臺(tái)進(jìn)行 Z 軸控制
- 背光 LCD 顯示屏顯示 X、Y 和 Z 坐標(biāo)
- “歸零"和“主頁"按鈕用于簡單的單機(jī)操作
- 符合人體工程學(xué)的緊湊型桌面控制單元
- 帶有 RS-232 串行和 USB 通信的微處理器控制
型號(hào)：RM-1250 Gen II （XY 自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 125 mm x 125 mm
- XY 軸分辨率（編碼器步長） 22 nm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
- 推薦負(fù)載（*可根據(jù)要求提供更高的負(fù)載）5kg
- *為 6.35 mm 螺距絲杠
型號(hào)：FTP-2000 （XYZ自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 75 mm
- XY 軸分辨率（編碼器步長） 22 nm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
- Z 軸分辨率（編碼器步長）5.5 nm
- Z 軸重復(fù)性 < 700 nm
- Z軸速度1.6毫米/秒
- 推薦負(fù)載 (*可根據(jù)要求提供更高的負(fù)載) 10kg
- * XY 平臺(tái)的質(zhì)量減少（通常為 5kg）
- *顯示為 6.35 mm 螺距絲杠
型號(hào)：MS-2000 （XY自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 100 mm x 100 mm
- XY 軸分辨率（旋轉(zhuǎn)編碼器步距） 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 0.7 μm
- XY軸速度 7mm/sec
- *顯示為 6.35 mm 螺距絲杠
型號(hào)：OE-1250 GEN II （XY自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 125 mm x 125 mm
- XY 軸分辨率（編碼器步長） 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 0.7 μm
- XY軸速度 7mm/sec
型號(hào)：MS-2000（XY自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 100 mm x 100 mm
- XY 軸分辨率（旋轉(zhuǎn)編碼器步長） 0.022 μm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 0.7 μm
- XY軸速度 7mm/sec
- 重量 2.27 kg
- 尺寸 (20.5 x 23 x 6.5 cm)
- *顯示為 6.35 mm 螺距絲杠
型號(hào)：MS-4400（XY自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 100 mm（可能受顯微鏡限制）
- XY 軸分辨率（旋轉(zhuǎn)編碼器步長） 22 nm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 700 nm
- XY軸速度 7mm/sec
型號(hào)：MS-9500（XY自動(dòng)平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 225 mm x 125 mm
- XY 軸分辨率 100 nm（典型值）
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 700 nm（典型值）
- XY軸速度 7mm/sec
型號(hào)：PZMU-2000 （Z軸壓電平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- （XY 軸行程范圍）（標(biāo)準(zhǔn) OEM 平臺(tái)）
- Z 軸行程范圍 (± 5%) 150 μm、300 μm、500 μm（100 μm 和 200 μm 版本可選）
- Z 軸分辨率 1.5 nm
- Z 軸速度，穩(wěn)定時(shí)間為 5 mm/s（每次移動(dòng)約 10 ms）
- Z軸共振頻率（空載）> 1 KHz
- Z軸頂板承重500g
- Z 軸頂板剛度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 軸頂板面內(nèi)傾斜（典型）10 μrad
- 尺寸（長 x 寬 x 高）242 x 176 x 19 mm
型號(hào)：PZU-2000 （XYZ 自動(dòng)平臺(tái)，帶壓電 Z 軸平臺(tái)）
標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格
- XY 軸行程范圍 120 mm x 110 mm
- XY 軸分辨率（編碼器步長） 0.088 μm
- XY 軸絲杠精度 0.25 μ/mm
- XY 軸 RMS 重復(fù)性 < 0.7 μm
- XY 軸速度 7 mm/sec
- Z 軸行程范圍 100 μm（175 μm 版本可選）
- Z 軸分辨率 1.5 nm
- Z 軸速度，穩(wěn)定時(shí)間為 5 mm/s（每次移動(dòng)約 10 ms）
- Z軸共振頻率（空載）> 1 KHz
- Z軸頂板承重500 g
- Z 軸頂板剛度 (± 20%) 3 N/μm
- Z 軸頂板面內(nèi)傾斜（典型）10 μrad
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