旋片式真空泵是以泵為主泵，以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。旋片式真空泵選用的旋片泵作為前級(jí)泵，因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)?/span>旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺(tái)機(jī)械真空泵，因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無(wú)爆炸性的、對(duì)金屬無(wú)腐蝕性的、與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的也不會(huì)含有顆粒塵埃的氣體。