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產品詳情：

項目		說明
機臺數量		1臺（套）；
機臺重量		XX Kg(預估值)；
清洗能力（采購方提供cassette樣品）		6inch 1cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
產能要求		濕法制程清洗工藝XXXX XXXPCS/ Run（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計算，預估值）；
設備形式（潔凈度：千級潔凈室）		室內放置型；
機臺封面、主要結構材質		聚丙烯PP 10T（）；
		阻燃聚丙烯PP10T （）；
		色聚氯乙烯PVC 10T （√）；
		SUS304單鏡面板材1.5T（）；
機臺視窗	材質	透明之聚氯乙烯PVC 5T （√）；
		SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃5T（）；
	模式	上下舉升式（）；
		左右推拉式（√）；
機臺主機強度結構		整體SUS304不銹鋼/碳鋼結構骨架（4040 4080）；
防漏盤	材質	聚丙烯磁白PP板材；
	模式	分體式每側尺寸比設備本體長50mm；
漏液檢測裝置	材質	防腐材質；
	點式	單點式漏液檢測sensor，管路區(qū)和防漏盤均安裝漏液檢測；
其它	水平調整	通過地腳調整設備水平；
	設備移動	設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用；
臺面板	材質	￠5mm左右洞洞結構（√）；
		￠12mm左右洞洞結構（）；
		相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經過時漏液（√）；
	模式	可拆式（√）；
		一體式（）；
排風系統(tǒng)	排風口位置	設備后頂部（）；
		設備后下部（）；
		設備后部（√）；
	排風通道結構	1）排風強勁合理設計，為了排風效果達到，排風通道內設有風量導流板； 2)為了方便操作人員根據情況及時調節(jié)排風量，操作人員可小范圍調節(jié)機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產生的結晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到使用效果； 3)設備排風通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區(qū)內與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內； 4）工藝腔內每個工藝槽對應位置都有可調節(jié)的柵格排風結構；
機臺的電控系統(tǒng)		安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由 PLC、IPC、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲 X 套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調用預先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數設定、手動維護、自動運行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有 3 級加密進入權限設置：分別為設備作業(yè)員、設備工程師、工藝工程師，不可混用權限；

規(guī)格特點

01）溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
02）優(yōu)化配管設置，節(jié)約DIW消耗量；
03）工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；
04）整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
05）整機采用PLC控制，IPC顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；
06）整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
07）整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
08）機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設備兩端各一個），并按照標準設置接地保護斷路器；
09）整機前后區(qū)隔離，底板傾斜設計，便于排液，處設有漏液報警，前后區(qū)域均設水槍，確保漏液及時沖洗；
10）清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；
11）設計合理化的排風管路，使有機液揮發(fā)氣體的污染最小化；
12）設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部；
13）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
14）設備內廢氣總管路可用維護區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入有機、酸堿廢液總管；
15）工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現，至少需要三面溢流；
16) 設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口；
17）機臺排風口處安裝排風壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
18）機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
19）工藝槽槽體傾斜式，便于排空；
20）機臺電器部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；
21）溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，達到節(jié)能目的；
22）廢液排放，每個工藝槽采用獨立排放管道，對應QDR也采用獨立排放口；
23）排風，工藝腔內每個工藝槽對應位置都有可調節(jié)的柵格排風結構；
24）換液提醒功能，所有制程能根據配液時間或運行批次數量通知換酸；
25）工藝結束可以設置預先報警功能，預報警聲音和實際報警聲音要有所區(qū)分；
26）工藝說明: 自動傳動，自動方式實現槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產部人員選取菜單進行作業(yè)，這個過程全自動進行；
27）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；
28）搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結構及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)；
29）搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統(tǒng)急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
30）搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；
31）上下料方向：左進右出，花籃水平放置；
32）顆粒指標，尺寸大于XX μm的顆粒，密度不超過XX個/cm2；
33）目前金屬離子殘留測試，包括XX種元素：------,每一種金屬元素殘留指標均要求