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槽式全自動清洗機

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更新時間：2023-05-06 10:20:39瀏覽次數(shù)：339次

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生產(chǎn)主線為：設(shè)置為自動晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區(qū)位置，按下【啟動鍵】，Robot將自動以夾持方式移至制程槽進行預(yù)設(shè)之制程，完成設(shè)備本身設(shè)定之流程，達成一貫性自動控制的功能。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機臺是IPC工業(yè)電腦加PLC控制的全自動控制系統(tǒng)。

*視窗為雙層設(shè)計，操作安全                                   
*設(shè)備占地面積小
*噴淋裝置噴淋均勻                                      
*加熱材料高純無污染，in-line加熱
*有限控制金屬、材料及微粒子的交叉                           
*溫度自動校準(zhǔn)
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全                          
*支持SMIF自動傳輸
*實時記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能                          
*軟件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能
*工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速                           
*優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量
*藥液濃度實時監(jiān)控系統(tǒng)                                        
*多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶適用和儲存
*槽體流場控制技術(shù)                                           
*高效藥液回收系統(tǒng)
*Maragoni Dryer 低破片率，高潔凈度                         
*較潔凈藥液回收利用，節(jié)約藥液使用
*易燃化學(xué)品安全穩(wěn)定加熱系統(tǒng)                                 
*易燃化學(xué)品搭載消防系統(tǒng)及切斷排風(fēng)系統(tǒng)，符合消防安全
*自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)                                      
*系統(tǒng)自動排程，多工位并發(fā)處理，高效率運行
*擁有多項軟件著作權(quán)                                         
*工藝預(yù)置，過程數(shù)據(jù)記錄和生產(chǎn)管理
*PC上位機和PLC觸摸屏的控制和人機交互界面

 

 

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