滑閥真空泵工作原理：

另一種典形的旋轉(zhuǎn)真空泵為滑閥真空泵，泵殼內(nèi)裝一偏心的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子上有若干槽，槽內(nèi)有可以滑動(dòng)的滑片。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)地槽內(nèi)的滑片向四周伸出，不與泵殼接觸。氣體于滑片與泵殼所包圍的空間擴(kuò)大的一側(cè)吸入，于二者所包圍的空間縮小的它側(cè)排出。滑片真空泵所產(chǎn)生的低壓可達(dá)0.06Pa。相比旋片真空泵運(yùn)行更加穩(wěn)定，耐用性更強(qiáng)。

噴射式真空泵工作原理：

噴射泵是利用流動(dòng)時(shí)的動(dòng)能與靜壓能相互轉(zhuǎn)化的原理來(lái)吸送流體的，工作液體可以是蒸汽，也可以是液體。

噴射泵由工作噴嘴和擴(kuò)壓器及混合室相連而組成。工作噴嘴和擴(kuò)壓器這兩個(gè)部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道。工作蒸氣在高壓下以很高的速度從噴嘴噴出，在噴射過程中，氣流通過噴嘴可將靜壓能轉(zhuǎn)變?yōu)閯?dòng)能。工作蒸汽壓強(qiáng)和泵的出口壓強(qiáng)之間的壓力差，使工作蒸汽在管道中流動(dòng)。

在這個(gè)特殊管道中，蒸汽經(jīng)過噴嘴的出口到擴(kuò)壓器入口之間的這個(gè)區(qū)域（混合室），由于蒸汽流處于G速而出現(xiàn)一個(gè)負(fù)壓區(qū)。此處的負(fù)壓要比工作蒸汽壓強(qiáng)和泵出口處所能承受的Z大壓強(qiáng)（反壓強(qiáng)）低很多。此時(shí)，被抽氣體吸進(jìn)混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進(jìn)行能量交換，把工作蒸汽靜壓能轉(zhuǎn)變來(lái)的動(dòng)能傳給被抽氣體，混合氣流在擴(kuò)壓器擴(kuò)張某而產(chǎn)生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴(kuò)壓器的漸擴(kuò)流動(dòng)時(shí)是降速增壓的?；旌蠚饬髟跀U(kuò)壓器出口處，壓力增加，速度下降，而后從壓出口排出。故噴射泵也是一臺(tái)氣體壓縮機(jī)。