潔凈室檢測之風(fēng)速及平衡性測試 

一、測試目的 

氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量，都是放在無塵室測試的步。風(fēng)速測量的目的，是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。 

單流向型無塵室，很多都是設(shè)計成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量。  

二、 使用儀器 

潔凈室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點式風(fēng)速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計。也可以使用多點式風(fēng)速計如 Shortridge Velgrid 16 點風(fēng)速計。輪葉式風(fēng)速計因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計（ Hot Wire ）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時 < 0.5m/s 以下 > 準確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計常用的是 Thermeister 式風(fēng)速計。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計由于本身重量問題，也不適用低速。 檢驗儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。 

三、 測試步驟 

 (1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。 (2) 取樣點位于濾網(wǎng)下方 75-150mm 處。 (3) 每一個濾網(wǎng)下，若是使用單點式風(fēng)速計，則每 1 平方英尺取一點；若是使用多點式風(fēng)速計，則每 4 平方英尺取一點。 (4) 每測量點必須取 5 秒的平均。 (5) 依驗收標準分析所有風(fēng)速，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點。 (6) 記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風(fēng)速計不可受到干擾，以免影響準確度。 

四、數(shù)據(jù)分析 

風(fēng)速測量很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標準差來代表，其計算步驟如下: 1. 平均值：2. 標準差