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詳細(xì)介紹
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)水冷機(jī)組定時保養(yǎng)知識須知
光刻機(jī)水冷機(jī)組定時保養(yǎng)知識須知
按時進(jìn)行光刻機(jī)水冷機(jī)組的維修保養(yǎng)，而對于很多企業(yè)而言，如果光刻機(jī)水冷機(jī)組缺少必要的保養(yǎng)與維護(hù)，意味著光刻機(jī)水冷機(jī)組后期運(yùn)行故障率非常高。
在實際運(yùn)行光刻機(jī)水冷機(jī)組的時候，為保持光刻機(jī)水冷機(jī)組運(yùn)行靠譜與穩(wěn)定，建議在使用半年時間之后，需要針對光刻機(jī)水冷機(jī)組進(jìn)行面面的清洗。尤其對于容易產(chǎn)生積塵污垢的位置，如蒸發(fā)器、冷凝器需要作為清洗的地方，可依靠各類專業(yè)的清洗溶劑，達(dá)到更好的清洗效果，保持光刻機(jī)水冷機(jī)組具備更高散熱性能，提高企業(yè)整體工作生產(chǎn)效率。
即便光刻機(jī)水冷機(jī)組整體的運(yùn)行品質(zhì)再高，如果在規(guī)定的時間內(nèi)沒有進(jìn)行任何的維護(hù)與保養(yǎng)，意味著光刻機(jī)水冷機(jī)組可能出現(xiàn)不同程度的故障問題。在散熱性能受到影響的前提下運(yùn)行光刻機(jī)水冷機(jī)組，其設(shè)備運(yùn)行消耗的能源大范圍的增加，嚴(yán)重影響光刻機(jī)水冷機(jī)組的穩(wěn)定運(yùn)行。
具體什么時間針對光刻機(jī)水冷機(jī)組進(jìn)行清洗，需要根據(jù)企業(yè)使用的環(huán)境確定。如果企業(yè)使用環(huán)境較為干凈，可以適當(dāng)?shù)难娱L清洗的時間，反之需要企業(yè)提前完成清洗，保持光刻機(jī)水冷機(jī)組的運(yùn)行穩(wěn)定，避免各類故障影響到企業(yè)正常使用光刻機(jī)水冷機(jī)組。
如果光刻機(jī)水冷機(jī)組使用的頻率較高，并且環(huán)境較為惡劣，為減少工業(yè)冷凍機(jī)出現(xiàn)各類故障的概率，可以將清洗的時間提前。
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