蘇州晟宇氣體設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品: 氬氣純化機(jī),混合配氣裝置,氬氣凈化機(jī),氮氣凈化機(jī),氫氣凈化機(jī) |
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2012-8-11 閱讀(598)
雜質(zhì) | N2 | O2 | CO2 | CH4 | 露點 |
含量ppm | <100 | ≤15 | <5 | <5 | -50℃ |
雜質(zhì) | N2 | O2 | CO2 | CH4 | 露點 |
含量ppm | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 | -70℃ |
含塵量 | ≤3.5顆/升(對于粒徑≥0.5μm塵埃) |