OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型大口徑開啟式管式爐,其小型大口徑開啟式管式爐工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。
小型大口徑開啟式管式爐技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | |
功率 | 3KW |
電壓 | 220VAC 50/60Hz |
工作溫度 | 1000℃(<1小時(shí)) |
連續(xù)工作溫度 | 900℃ |
大加熱速率 | 20℃/min |
加熱區(qū)
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 100 mm (+/-1oC ) 140 mm (+/-2oC )
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溫控系統(tǒng)
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歐陸儀表(可選) | |
控溫精度 | +/- 1°C |
爐管 | 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL 配有2個(gè)氧化鋁管堵,使用設(shè)備時(shí)應(yīng)放在爐管兩端,保證恒溫區(qū)和法蘭密封性 可選購(gòu)石英管堵,提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空
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真空密封法蘭
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真空壓力表 | |
鎧裝熱電偶(可選) | |
尺寸 | |
凈重 | 48 Kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件) |
質(zhì)量認(rèn)證 | |
應(yīng)用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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