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詳細(xì)介紹
設(shè)備主要規(guī)格
電源系統(tǒng) | 雙微波電源 | 自主研發(fā)與華南理工大學(xué)合作 |
功率 | 0~2000W | |
頻率 | 2.45GHz | |
真空系統(tǒng)
| 真空泵 | Kashiyama NeoDry60E |
真空管路 | 304不銹鋼，高強(qiáng)度真空管路 | |
材質(zhì) | 鋁合金 | |
腔體絕緣材質(zhì) | 陶瓷 | |
密封性 | 耐腐蝕硅膠密封圈 | |
腔體內(nèi)部尺寸 | 24升 | |
清洗產(chǎn)品范圍 | 180~250mm×30~80mm（長(zhǎng)×寬）平面變形量＜2 | |
料盒尺寸范圍 | 200~270mm×37~97mm×150mm（長(zhǎng)×寬×高） | |
軌道寬度調(diào)整方式 | 手動(dòng)滾輪調(diào)節(jié) | |
流道數(shù)量 | 4條，流片方向左進(jìn)右出方式 | |
電極板工作面積 | 340×500mm | |
氣體系統(tǒng) | 流量范圍 | 0~300SCCM |
工藝氣體氣路 | 標(biāo)配氧氣、氬氣兩路工藝氣體(可定制） | |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | 工控機(jī) |
防呆 | 夾料監(jiān)控 | 可監(jiān)控30~80mm引線框架 |
料盒防呆 | 可監(jiān)控料盒是否已經(jīng)放置到位 | |
UPH | UPH | 120PC Lead frame |
Plasma效果 | 清洗要求 | 有效去除物料正反面表面的氧化層 |
溫度要求 | 連續(xù)工作溫度不超過200℃ | |
其他參數(shù) | 外形尺寸 | 寬1300×長(zhǎng)2000×高2064mm（含指示燈高） |
重量 | 1000KG | |
功率 | 15KW | |
設(shè)備外觀顏色 | 銀灰色 |
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