氣體質(zhì)量流量計 SFM5300

產(chǎn)品類別： 氣體流量計

適用于大批量成本敏感的OEM項目

SFM5300質(zhì)量流量計具有的精度（誤差＜1%）、可重復(fù)性和長期穩(wěn)定性，寬動態(tài)測量范圍，尺寸緊湊。SFM5300質(zhì)量流量計采用鈑金式連接方式和數(shù)字接口。金屬SFM5300是SFM5400系列質(zhì)量流量計的變種適用于大批量成本敏感的OEM項目。

SFM5300質(zhì)量流量計的杰出性能基于創(chuàng)新的技術(shù)，它在一個硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號處理電路。結(jié)合優(yōu)質(zhì)材料，其實現(xiàn)了一個持久穩(wěn)定、快速和高精度的SFM5300質(zhì)量流量計。

SFM5300質(zhì)量流量計是SFC5300質(zhì)量流量控制器的無閥門版本。兩個傳感器產(chǎn)品具有相同的性能特性，并適用于在類似的應(yīng)用，這意味著它們可以理想地結(jié)合在一起。在SFC5300 網(wǎng)站，你可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的進一步信息和詳細規(guī)格。

性能參數(shù):

低流量的高精確度（< 1 sccm）

優(yōu)良的精度/可重復(fù)性（分別為測量值的2% / 0.2%）

寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）

尺寸緊湊(downmount安裝連接)

多氣體和氣體識別

數(shù)字接口

高度可配置

MTBF 169年-無需再校準(zhǔn)

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