半導(dǎo)體超純水設(shè)備

【 】半導(dǎo)體(semiconductor)指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體材料很多，按化學(xué)成分可分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類(lèi)，鍺和硅是的元素半導(dǎo)體?；衔锇雽?dǎo)體包括Ⅲ-Ⅴ族化合物：砷化鎵、磷化鎵等；Ⅱ-Ⅵ族化合物：硫化鎘、硫化鋅等；氧化物：錳、鉻、鐵、銅的氧化物，以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體：鎵鋁砷、鎵砷磷等。除上述晶態(tài)半導(dǎo)體外，還有非晶態(tài)的玻璃半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體等。

工藝流程為：原水箱---原水泵---多介質(zhì)過(guò)濾器---活性炭過(guò)濾器---加藥系統(tǒng)---保安過(guò)濾器---一級(jí)增壓泵---一級(jí)反滲透---中間水箱---二級(jí)增壓泵---二級(jí)反滲透---二級(jí)純水箱---EDI泵---紫外線殺菌器---保安過(guò)濾器---EDI裝置---拋光樹(shù)脂---氮封水箱---用水點(diǎn)

整套半導(dǎo)體超純水設(shè)備采用一用一備系統(tǒng)，兩套系統(tǒng)分開(kāi)獨(dú)立但同時(shí)又保持聯(lián)動(dòng)關(guān)系。在設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)或單一系統(tǒng)出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)，另一套系統(tǒng)及時(shí)啟動(dòng)，以保證整個(gè)產(chǎn)線不間斷供水。