近年來，從半導(dǎo)體集成電路開始，(IC)微機(jī)電系統(tǒng)是由技術(shù)發(fā)展而來的(microelectromechnicalsystem，MEMS)技術(shù)越來越成熟。微型傳感器是目前較成功、較實(shí)用的微機(jī)電器件，主要包括微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微溫度傳感器、磁場(chǎng)傳感器、氣體傳感器等，大部分面積為1mm2.以下。隨著微電子加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，特別是納米加工技術(shù)，傳感器技術(shù)也將從微型傳感器發(fā)展到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實(shí)現(xiàn)許多新功能，便于大規(guī)模、高精度生產(chǎn)，單件成本低，易于形成大規(guī)模、多功能陣列，非常適合汽車應(yīng)用。