微電子行業(yè)純水設(shè)備

  一． 電子行業(yè)（特別是微電子行業(yè)）純水需求量大，其特點(diǎn)是水質(zhì)要求較高，電阻率一般大于15MO-CM以上。主要應(yīng)用于：
     1. 大規(guī)模集成電路元器件的生產(chǎn)用水，一般電阻率均大于18MO-CM。按國(guó)家有關(guān)用水標(biāo)準(zhǔn)（GB/T11446.1-1997）執(zhí)行。
     2. 電子元件廠，在焊接和組裝過(guò)程中的沖洗用水。依據(jù)電子元件生產(chǎn)工藝不同，其用水標(biāo)準(zhǔn)中（即GB/T11446.1-1997）有可為四級(jí)（一級(jí)電導(dǎo)率18MO-CM以上，二級(jí)電阻率不低于15MO-CM，3級(jí)電阻率12MO-CM, 4級(jí)為0.5MO-CM）.
    二 . 制水工藝：
     1. 一級(jí)反參透加混合離子交換柱，適用標(biāo)準(zhǔn)中的三級(jí)和四級(jí)。
     2. 反參透加混合離子交換柱，再加一級(jí)精混（采用進(jìn)口拋光樹(shù)脂）適用于標(biāo)準(zhǔn)1級(jí)和2級(jí)出水指 標(biāo)。
     3. 目前有一種新的工藝：
     即反參透（1級(jí)或2級(jí)反參透）加ED1（電脫鹽），此工藝的優(yōu)點(diǎn)是操作簡(jiǎn)單，無(wú)需樹(shù)脂再生工藝，且出水指標(biāo)一般均達(dá)到15MO-CM以上