TL1200-Mini-C單溫區(qū)CVD系統(tǒng)

     TL1200-Mini-C 單溫區(qū)CVD系統(tǒng)

CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+TL1200-Mini管式爐+真空系統(tǒng)組成

      TL1200系列管式爐

這款管式爐以瑞典康泰爾電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30 段程序控 溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁 多晶纖維材料，爐膛分為上下兩個半圓，需要急 速冷卻或換管子時，可以打開爐膛，雙層爐殼間 配有風冷系統(tǒng)，能快速升降溫，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校、科研院所、工礦 企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD 實驗、真空退火用的理想產品。
組件配置：

一、控溫儀表：采用宇電程序控溫儀表
1、30段程序控溫智能PID調節(jié)。
2、具有過溫保護、斷偶保護，過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。
3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）
4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。
5、儀表具有溫度自整定的功能。

二、開蓋保護系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。
三、爐膛材料：采用多晶莫來纖維爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強。
四、加熱元件：采用世界上加熱元件 瑞典Kanthal A1電阻絲， 溫場均衡、使用壽命長。

五、漏電保護功能： 該爐裝了漏電空氣開關，當爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關閉以切斷電源。
六、控制系統(tǒng)：1、電器：正泰。   2、可控硅：德國西門空106/16E。   3 觸發(fā)器：移相觸發(fā)。
七、氣路系統(tǒng)： 快速拆卸連接法蘭結構；密封法蘭采用雙環(huán)密封技術；真空度：≤2X10-2Pa（配套高真空系統(tǒng)）。在雙環(huán)O型密封圈中有一個不銹鋼O型圈進行擠壓密封、拆卸方便、可重復拆卸，氣密性好、可保證冷態(tài)時12小時壓力表指針不偏轉。

八、不銹鋼支撐架：兩端配套不銹鋼氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。

各種規(guī)格尺寸：

VS-0.1低真空系統(tǒng)

產品描述：

該系統(tǒng)是一款低真空機組，可以使管式爐爐管內的真空度達到1Pa以下，該系統(tǒng)由法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、波紋管、支架、真空泵等組成，在法蘭出氣嘴處接有四通管，四通管分別接電阻硅，高真空擋板閥、閥門和法蘭，用Dia25的波紋把真空擋板閥和真空泵連接起來，連接口用KF25快捷卡箍。

技術參數：

1.真空泵型號 ：FX-16                   2.真空泵抽速：16（4）m3/h(L/s)

3.真空泵極限壓強（Pa)：≤4X10-2          4.高真空擋板閥：KF25

5.波紋管：KF25X1000                   6.真空計VRD-I：規(guī)管型號：ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)

7.電源：220V電壓   0.8KW功率           8.真空泵的出氣口和抽氣口均為：KF25

9.擋板閥：高真空專用不銹鋼閥門          10.連接口：兩個KF25接口       

系統(tǒng)】多路質量流量計控制供氣系統(tǒng)

產品描述：

該系統(tǒng)是一款可以控制多種氣體按不同流量進行混合配比的供氣系統(tǒng)，氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過管道到供氣系統(tǒng)的入口，再經過質量流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口?；鞖夤奚辖佑袎毫Ρ恚瑝毫Ρ盹@數盤與質量流量計顯示板安裝在同一面板上，每一條氣體管路均有一個高壓截止閥。各通道氣體流量設定和狀態(tài)顯示都集中在PLC觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。

技術參數：

氣路通道：多通道（可根據客戶需要確定）      2.氣體類型：客戶可以根據自己的要求任意選擇氣體。

3.流量計標準量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意選擇量程)

4.工作電壓：220V 50HZ            5.工作溫度：5-45℃          6.工作壓差：0.1~0.5MPa

7.壓力：3MPa                 8.準確度：±1.0%F.S.        9.質量流量計相應時間：1S

10.測量范圍：0.1MPa-0.15MPa      11.混氣罐：304不銹鋼        12.進出氣接口：采用Φ6不銹鋼卡套接頭

13.管道：內部管道為6mm不銹鋼管 外部管道為6mm聚四氟管       14.尺寸：650X650X650mm

15.控制面板：每路氣路設定和查看都集中在PLC觸摸屏上可通過PLC設定每個通道的氣體流量，實時查看各通道的流量曲線和設定數據