詳細介紹
RSD-COL-240H無塵烤箱技術(shù)參數(shù):
百級潔凈烤箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烤箱參數(shù)資料:
一.特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 1000/100/10
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用進口SUS304#2mm厚之鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避
免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風道設(shè)計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
二.執(zhí)行與滿足標準
1.GB/T11158-1989高溫烘烤技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989標準B
三.用途
無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵潔凈烘箱溫度選配20~250℃(300℃)
四.產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號:RSD-COL-240H
2.主要技術(shù)指標:
2.1無塵等級:Class 100;
2.2溫度范圍: 60~250℃(300℃);
2.3溫度均勻度:±2.5℃;
2.4溫度波動度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸:W600×H750×D500
2.8電源:380v , 50Hz,4.5Kw
3、潔凈烘箱廠家箱體結(jié)構(gòu):
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內(nèi)膽材料:采用進口SUS304#之鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進口SUS304#鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質(zhì),并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
4、溫控系統(tǒng)
4.1采用日本三菱PLC系統(tǒng)及OMRON E5A型溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定,**度±0.3% FS;
4.2訊號來源:采日制進口CA感應(yīng)棒±0.5%。
4.3輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。
5、完善的安全保護措施:漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置、電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、機臺異常蜂鳴器警示逆向防止器、門面安全開關(guān)
6、無塵烘箱選購設(shè)備:
6.1 可程式溫控器
6.2六點溫度記錄儀
6.3雙色指示燈
6.4烘烤架
RSDCOL系列智能無塵烤箱(型號規(guī)格表)
容積 | 型號 | 控溫范圍 | 控溫精度 | 電源電壓 | 內(nèi)膽尺寸(mm) | 層數(shù) |
70L | RSD-COL-070H | RT-250℃ | ±1℃ | 220V/50Hz | W400*D350*H500 | 2層 |
180L | RSD-COL-180H | RT-250℃ | ±1℃ | 220V/50Hz | W600*D600*H500 | 2層 |
270L | RSD-COL-270H | RT-250℃ | ±1℃ | 380V/50Hz | W600*D500*H900 | 3層 |
340L | RSD-COL-340H | RT-250℃ | ±1℃ | 380V/50Hz | W700*D700*H700 | 3層 |
620L | RSD-COL-620H | RT-250℃ | ±1℃ | 380V/50Hz | W800*D600*H1300 | 4層 |
640L | RSD-COL-640H | RT-250℃ | ±1℃ | 380V/50Hz | W800*D800*H1000 | 4層 |
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