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HMDS真空烘箱

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更新時間:2022-09-10 20:17:52瀏覽次數(shù):697

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產(chǎn)品簡介

HMDS真空烘箱

詳細介紹




產(chǎn)品用途及原理

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(電腦式HMDS真空充氮烘箱)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理,增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對晶片進行預(yù)處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空,充氮加熱循環(huán)進行,既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復(fù)性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對人體無害的顯著優(yōu)點;也可用于晶片其它工藝的清洗。


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