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GD系列配氣設備
四路混氣系統(tǒng)
該供氣系統(tǒng)是一種可通過質量流量計對不同氣體分別調節(jié)流量，并混合配比，也可根據實驗需求加裝洗氣裝置。質量流量計安裝于密封的管路箱中，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙
卡套接頭連接組成。觸摸屏控制，此款設備與科冪品牌的各款管式爐配合使用。
項目/型號 GDT-MFC-4 適配電源 220V 50HZ 流量計標準量程 100sccm/200sccm/200sccm/500sccm（非特殊定以氮氣標定，量程可選） 工作溫度 5~45℃ 工作壓差 0.1~0.5MPa 較大壓力 3MPa 準確度 ±1.5% FS 測量范圍 -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 針閥 316不銹鋼 截止閥 316不銹鋼針閥 尺寸 260*450*450 mm
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