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TFC化學氣相沉積-微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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更新時間:2022-09-01 19:10:46瀏覽次數(shù):213

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳情微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設(shè)備,該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等

詳細介紹

產(chǎn)品詳情

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設(shè)備,該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。


產(chǎn)品特點

1.雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;

2.高純狀氧化鋁纖維絕緣層,節(jié)約能源;
3.爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。


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