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靜電驅(qū)動器利用電荷間引力和排斥力的互相作用順序驅(qū)動電極而產(chǎn)生平移或旋轉(zhuǎn)運(yùn)因靜電作用屬于表面力，動。因靜電作用屬于表面力，作用力大小和元件尺寸的二次方成正比，和元件尺寸的二次方成正比，在尺寸很微小時，能夠產(chǎn)生很足的電量。小時，能夠產(chǎn)生很足的電量。

靜電驅(qū)動器有回轉(zhuǎn)型和直線型兩種。

驅(qū)動時，將轉(zhuǎn)子當(dāng)做接地電極，長方形或扇形定子作為另一極，通過順次移動加在定子上的電壓，從而使定子與轉(zhuǎn)子間產(chǎn)生引力與排斥力，就可以實(shí)現(xiàn)回轉(zhuǎn)或直線移動。靜電驅(qū)動器的位置和速度控制需要轉(zhuǎn)子位置檢測電路。

2、形狀記憶合金驅(qū)動器

形狀記憶合金之所以可用做驅(qū)動器，形狀記憶合金之所以可用做驅(qū)動器，首先是由于其具有形狀記憶效應(yīng)(shape先是由于其具有形狀記憶效應(yīng)memoryeffect)。一般金屬材料受到外。力作用后會發(fā)生彈性變形，力作用后會發(fā)生彈性變形，達(dá)到屈服點(diǎn)后產(chǎn)生塑性變形，應(yīng)力消除后，后產(chǎn)生塑性變形，應(yīng)力消除后，留下變形;久變形;而形狀記憶合金在發(fā)生塑性變形后加熱到某一溫度之上，形后加熱到某一溫度之上，能夠回復(fù)到變形前的形狀，這就是形狀記憶效應(yīng)。變形前的形狀，這就是形狀記憶效應(yīng)。

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