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詳細(xì)介紹
儀器特點(diǎn)：
該系列氣浮式大行程影像測(cè)量?jī)x采用龍門式結(jié)構(gòu)(橋架式)運(yùn)行性能穩(wěn)定，且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。X、Y、Z三軸均采用伺服電機(jī)、全采用雙重閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制、可保證電機(jī)在中、高速動(dòng)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性，和準(zhǔn)確的定位功能，影像Z軸可自動(dòng)對(duì)焦、配合自動(dòng)變焦鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變焦而不需倍率校正。
氣浮型影像測(cè)量?jī)x VMS-5030 VMS-6040
工作臺(tái)
金屬臺(tái)面尺寸(mm) 760×640 730×530
金屬臺(tái)面尺寸(mm) 760×640 730×530
玻璃臺(tái)面尺寸(mm) 550×350 650×450
運(yùn)動(dòng)行程(mm) 500×300 600×400
Z軸升降行程 200mm
工作距離 92mm
X、Y、Z數(shù)顯解析度 1μm
X、Y坐標(biāo)示值誤差 ≤(3+L/200)μm
影像系統(tǒng)
攝影機(jī)： 日本原裝彩色1/2″CCD攝像機(jī)
變焦物鏡倍率： 0.7~4.5X 或自動(dòng)變焦鏡頭
視頻總倍率： 30X~190X
物方視場(chǎng)： 10.6~1.6mm 表面光源與透射光源均用LED，48組可編程。
測(cè)量系統(tǒng) QuickMeasuring測(cè)量軟件
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