F3-sX 系列膜厚儀

F3-sX 系列膜厚儀能測(cè)量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度不好；

波長(zhǎng)選配

F3-sX系列使用近紅外光來測(cè)量薄膜厚度，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體)。 F3-s980 是波長(zhǎng)為980奈米的版本，是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),F3-s1310是針對(duì)重?fù)诫s硅片、GaAs或InP等不透明基片與減薄片的優(yōu)化設(shè)計(jì),F3-s1550則是為了超厚的薄膜設(shè)計(jì)。

附件

附件包含自動(dòng)化測(cè)繪平臺(tái)，一個(gè)影像鏡頭可看到量測(cè)點(diǎn)的位置以及可選配可見光波長(zhǎng)的功能使厚度測(cè)量能力薄至15奈米。