詳細介紹
靈活的系統(tǒng)組合、的成像性能、穩(wěn)定的系統(tǒng)結構,MX6R系列專業(yè)應用于工業(yè)檢測及金相分析領域。
各項操作根據人機工程學設計,大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計,可對系統(tǒng)功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。
性能特點
■ 采用無限遠色差校正光學系統(tǒng)
■ 長工作距、明暗場兩用平場消色差物鏡,成像清晰、像面平坦
■ 配備反射式柯拉照明系統(tǒng),為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
■ 正像三通觀察筒,25°傾斜,極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應性
■ 配備了4寸帶離合器的機械平臺230X215mm,行程105mmX105mm,可快速移動
■ 舒適人機學設計,高剛性鏡筒,“Y”型底座,調焦機構采用前置式操作控制,精微調同軸
■ 光源采用寬電壓數字調光技術,具有光強調定與復位功能
■ 可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件,拓展應用領域
技術參數
配 置 | 參 數 | |
型號 | MX6R | MX6R(透反) |
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) | |
觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
觀 察 筒 | 正像觀察筒,25°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100:0或0:100 | |
目 鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |
轉 換 器 | 5孔內傾式明暗轉換器,帶DIC插槽 | |
物 鏡 | 無限遠長工作距明暗場金相物鏡5X LMPL5X /0.13 WD11mm | |
無限遠長工作距明暗場金相物鏡10X LMPL10X /0.25 WD9.5mm | ||
無限遠長工作距明暗場金相物鏡20X LMPL20X /0.4 WD3.4mm | ||
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡50X LMPLFL50X /0.6 WD7.5mm | ||
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡100X LMPLFL100X /0.80 WD2.1mm (選配) | ||
調焦機構 | 粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001,帶粗調機構上限位及松緊調節(jié)裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出 | |
載 物 臺 | 4英寸機械移動平臺,低手們粗微同軸調節(jié),平臺面積230X215mm,移動范圍:105X105mm,含金屬載物臺板,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口 | 4英寸機械移動平臺,低手們粗微同軸調節(jié),平臺面積230X215mm,移動范圍:105X105mm,含玻璃載物臺板,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口 |
顯微鏡鏡體 | 粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節(jié)裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出 | 粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節(jié)裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出 |
反射照明系統(tǒng) | 帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿,12V100W鹵素燈,光強連續(xù)可調 | |
偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉,起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 | |
CTV接口 | 1X(標配)、1/2X(選配) | |
透射照明系統(tǒng) | / | 單顆大功率5W LED,白色,光強連續(xù)可調。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌 |
寬視場鉸鏈式三目觀察筒
大行程移動平臺設計
采用6寸平平臺設計,行程158×158mm,可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉換器
轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩(wěn)重的機架結構設計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區(qū)的電網電壓。底座內部設計有風循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱。
明場觀察(透射)
5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光鏡,可以透照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。
透射照明與反射照明為獨立控制,即可同時亮,也可單獨亮。
明場觀察(反射)
遠心坷拉反射照明系統(tǒng),配以全新設計的無限遠平場消色差長工作距金相物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質顯微圖像。
簡易偏光觀察
將起偏器鏡及檢偏鏡插板插入照明的位置,即可進行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉式兩種。
暗場觀察
將暗場照明拉桿拉到位置,即可使用暗場功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質點及其他細微缺陷,暗場功能只限于MX6R/MX6R(透反)機型。
DIC微分干涉觀察
在正交偏光的基礎上,插入DIC棱鏡,即可進行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術,可以使物鏡表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。
5X、10X、20X專為DIC設計,使得整個視場的干涉一致,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。