產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
● 工藝過(guò)程中的薄膜高速測(cè)量
●最短曝光時(shí)間1ms~※根據(jù)規(guī)格
●支持遠(yuǎn)程測(cè)量
●膜厚測(cè)量范圍65nm~92μm(換算為SiO2)
基本配置
多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)
在多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中,通過(guò)在TD方向預(yù)先設(shè)置任意寬度的多分支光纖,可以在不驅(qū)動(dòng)光纖的情況下測(cè)量TD方向的膜厚分布。可以作為涂層的條件和實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。
檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式,通過(guò)光纖的光路切換可以進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)定。
橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)
在橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中,通過(guò)在TD方向上驅(qū)動(dòng)橫動(dòng)單元,可以以任意寬度和任意間距測(cè)量TD方向的膜厚分布。
可以作為涂層條件提出和實(shí)時(shí)監(jiān)控使用。 由于通過(guò)排線單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,因此無(wú)需準(zhǔn)備多臺(tái)檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理。
即使在真空環(huán)境下也可以在多點(diǎn)進(jìn)行反射、透射光譜測(cè)定
通過(guò)使用各種法蘭對(duì)應(yīng)的耐真空纖維,可以在高真空下測(cè)量反射、透射光譜。
另外,膜厚運(yùn)算不易受到基膜的上下移動(dòng)的影響,并且采用精度良好的薄膜測(cè)量大冢電子獨(dú)自的算法,可以作為實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。
式樣
MCPD-9800仕様
MCPD-6800仕様