OTF-1250X-R8-III是一款8英寸三溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管式爐系統(tǒng)。該設備是專為無機化合物的合成制備而設計,可以有效提高物料反應的均勻性,可選合金管材使工作溫度到達1250℃。可廣泛應用于利用CVD法制備電池正負極材料的大規(guī)模生產(chǎn)。
技術參數(shù)
名稱 | 8英寸三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD管式爐系統(tǒng)-OTF-1250X-R8-III |
管式爐結(jié)構 | 開啟式管式爐設計方便進行爐管的更換和維修。 加熱元件選用Sic棒。 三溫區(qū)加熱,總加熱長度1170mm。 爐膛材料選擇高純氧化鋁纖維,可以極大程度降低能耗。 爐管由直流電機驅(qū)動進行旋轉(zhuǎn)。 旅館旋轉(zhuǎn)速度:0-10rpm。 爐管可傾斜角度:0-15°可調(diào)。 工作電壓:AC 208-240V,三相(需一50A空氣開關)。 功率:30KW。 產(chǎn)量:每批25Kg。 |
加熱區(qū)以及恒溫區(qū) | 三個加熱區(qū),每個加熱區(qū)長度為380mm。 總加熱區(qū)長度:1170mm。 兩個氧化鋁管堵與法蘭連接置于爐管兩端隨爐體移動,防止熱量以熱輻射的形式損失。 |
可選管材與其工作溫度 | 兩種管材可選進行訂購: 高純石英管,工作溫度:1200℃ 石英管尺寸:8.5” OD×8.1”ID×63”L 內(nèi)部焊接有揚料板,使粉體燒結(jié)更加充分和均勻 NiCrA1合金管,工作溫度:1250℃ 合金管尺寸:8” OD×7”ID×63”L |
密封法蘭(可選) | 爐管包含一套密封法蘭,標準配置如下: 采用鉸鏈式法蘭(方便進行裝卸料)。 機械壓力表(范圍-0.1MPa~0.15MPa)。 不銹鋼針閥&1/4”軟管接頭,KF25真空接頭以及1/4”接頭。 旋轉(zhuǎn)接頭:采用動密封旋轉(zhuǎn)接頭,進氣口φ6mm,所有配件都為可旋轉(zhuǎn)配件。 真空度:10-2torr(用機械泵)。 注意:由于石英管和合金管外徑不同,故兩管法蘭不能互換使用。 |
溫度控制 | 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設置30段升降溫程序。 具有超溫及斷偶報警功能。 通信端口:RS485. 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集(需另購) |
工作溫度 | 連續(xù)工作溫度: 石英管:400~1100℃ NiCrA1合金管:400~1250℃ 加熱/冷卻速度:10℃/min 溫度精度:恒溫區(qū)±1℃ |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(不包括爐管、加熱元件和密封圈) |
質(zhì)量認證 | CE認證 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認證 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
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產(chǎn)品參數(shù) | 產(chǎn)品重量:900Kg 產(chǎn)品尺寸:1600 L×800 W×1900 H mm |
可選配件 | 微量氧分析儀(0-1000ppm) 注意:氧分析儀需安裝在一側(cè)法蘭處并且保持氣體流動進行測試分析 |
警告 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司購買減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)。爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱的實驗,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。 |
應用注意事項 | 通過容積式給料器、法蘭處采用磁流體密封旋轉(zhuǎn)接頭可實現(xiàn)連續(xù)喂料。 采用該設備做CVD實驗時,可選購本公司的多路混氣系統(tǒng)進行氣體精確配比及流量控制。 |
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