OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內(nèi)部移動的(在真空氣氛保護(hù)環(huán)境下移動)管式爐,至多可依次移動4個坩堝。特殊的坩堝推送機(jī)構(gòu),可將坩堝在爐管內(nèi)推出后再拉回,讓坩堝能做往返移動。坩堝移動位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設(shè)備可進(jìn)行物理化學(xué)混合沉積(HPCVD),快速熱蒸發(fā)(RTE)等實驗,特別適合制備多層二維晶體材料。
技術(shù)參數(shù)
名稱 1200℃多坩堝依次移動型管式爐--OTF-1200X-II-ZL 開啟式管式爐 雙溫區(qū)管式爐:兩個獨立的溫控系統(tǒng)分別獨立控制兩個溫區(qū) 加熱區(qū)長度:溫區(qū)1:200mm, 溫區(qū)2:200mm 爐管材料:高純石英 爐管尺寸:外徑: 60 ×內(nèi)徑: 54×長: 760 mm 溫度曲線圖(兩個溫區(qū)設(shè)置在800℃時所測,僅供參考) 工作溫度:1200℃(<1hr) 連續(xù)工作溫度:1100℃ 控溫精度:+/-1℃ 真空密封 配有不銹鋼密封法蘭,上面安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表。 進(jìn)氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭,出氣端法蘭接口為KF25接口。 法蘭密封圈采用水冷卻,使用時需要通入冷卻水,可在本公司選購循環(huán)水冷機(jī)。 真空度:10E-2 torr(采用機(jī)械泵),10-E5 torr(采用分子泵)。 坩堝移動機(jī)構(gòu)(轉(zhuǎn)輪式法蘭) 一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內(nèi)部,并與坩堝相連接(圖1)。 通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動使坩堝移動,并和熱電偶和坩堝一起移動,實時監(jiān)測樣品的溫度。 進(jìn)氣端法蘭轉(zhuǎn)輪式法蘭(圖2)。 可同時在轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)中放入4個坩堝,可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中(可在真空狀態(tài)或氣氛保護(hù)狀態(tài)進(jìn)行運作)。 坩堝移動控制 通過一步進(jìn)電機(jī)控制坩堝移動的速度和位置。 可控制坩堝較小移動位移為1mm。 坩堝較大移動距離為200mm。 防腐型數(shù)顯真空計 配有一數(shù)顯防腐型真空計。 當(dāng)氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換。 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性。 因為傳感器上鍍有涂層,所以具有較好的抗腐蝕性。 測量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr。 混氣系統(tǒng) 此套設(shè)備中配有一2路混氣系統(tǒng) 輸出功率:18W 工作溫度:5-45℃ 氣壓:3×106Pa 精度:±1%FS 質(zhì)量流量計量程: 1:0-100sccm 2:1-199sccm 可根據(jù)客戶要求選購1-5路供氣系統(tǒng) 產(chǎn)品尺寸 2400mm(L)×600mm(W)×1300(H)mm 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管加熱元件密封圈易耗件 質(zhì)量認(rèn)證 CE認(rèn)證 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認(rèn)證 若客戶出認(rèn)證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CSA認(rèn)證。 國家 名稱:一種小型熱等靜壓爐裝置 編號:ZL-.0 使用注意事項 爐管內(nèi)氣壓不高于0.02MPa。 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 對于樣品加熱是實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需要時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) 應(yīng)用注意事項 此款管式爐具有多種用途。 熱蒸發(fā):把蒸發(fā)料放在坩堝里,通過移動坩堝來精確找到所需要的蒸發(fā)溫度。 HPCVD:和熱蒸發(fā)相似,可通入反應(yīng)氣體與蒸發(fā)的物料反應(yīng)后再沉積。 可用于制作多層二維晶體。 免責(zé)聲明 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實物的偏差。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,科儀公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請您見諒。