立式管式爐燒結的粉末放置在砂芯層上，氣體從爐管下端法蘭處通入，通過砂芯層使樣品顆粒在氣流的帶動下懸浮在加熱區(qū)域（一般穩(wěn)定在恒溫區(qū)內），進行沉積實驗。
顆粒懸浮立式管式爐是一款小型開啟式立式管式爐，其爐管直徑為φ30mm、50mm、80mm可選，適合于對樣品在真空或氣氛保護環(huán)境下吊燒和淬火。如果選用不同的配件與裝置搭配，其也可以當作一款流化床立式管式爐來使用，可專門針對粉末表面沉積的CVD實驗，此時，在高純石英爐管內部嵌有石英砂芯，其孔徑在5-15um內。燒結的粉末放置在砂芯層上，氣體從爐管下端法蘭處通入，通過砂芯層使樣品顆粒在氣流的帶動下懸浮在加熱區(qū)域（一般穩(wěn)定在恒溫區(qū)內），進行沉積實驗。
洛陽西格馬可生產(chǎn)1200℃帶超聲霧化的流化床CVD管式爐系統(tǒng)、臥式流化床爐、立式流化床爐。
SGM 三溫區(qū)立式管式爐
立式管式爐主要用途：
顆粒懸浮立式管式爐是一款流化床立式管式爐，專門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區(qū)，固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內
顆粒懸浮立式管式爐的爐體設計為開啟式，當實驗結束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應后的顆粒。
注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量等
立式管式爐結構特點：
爐管為高純石英管，爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔徑可單獨定制。.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進行沉積實驗
流化床立式管式爐是門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區(qū)固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內爐體設計為開啟式，當實驗結束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應后的顆粒。注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量等
顆粒懸浮立式管式爐技術參數(shù)
| 電爐名稱 | 顆粒懸浮立式管式爐 Sigma Vertical tube furnace for particle suspension |
| 流化區(qū)域 | 反應氣體和均勻地通過反應區(qū) 固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內 爐體設計為開啟式，當實驗結束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應后的顆粒。 注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量 |
| 多孔石英板 | 孔徑：5~15 um 尺寸：44mm I.D x 4mm t |
| 爐體結構 | 雙層殼體結構并帶有風冷系統(tǒng) 爐體設計為開啟式，以方便放樣和取樣 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽命和提高加熱效率 爐體上、下端設計有法蘭支撐平臺； 爐體設計為開啟式，以方便與更換爐管； 采用高純氧化鋁作為爐膛材料； |
| 額定溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | 1100℃ |
| 大升溫速率 | <= 20 oC /min |
| 爐管尺寸和材料 | 采用高純石英爐管 爐管尺寸：50mm; ID: 44mm; L: 610mm |
| 加熱區(qū) | 200mm(單溫區(qū)） |
| 恒溫區(qū) | 100mm(+/-2oC) |
| 溫控系統(tǒng) | 可設置30段升溫，保溫和降溫程序。 采用PID方式來調節(jié)溫度，并帶有過熱和斷偶保護 控溫精度：+/- 1 ºC 控溫儀表操作視頻 |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 |
| 密封法蘭 | 儀器中配有一對不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表 |
| 外形尺寸 | 340mm×300mm×1000mm ( W x L x H) |
| 大功率 | 1.2KW |
| 輸入電源 | AC220V 單相, 50/60 Hz |
| 質保期 | 一年質保期（不包含爐管、密封圈和加熱元件） |
顆粒懸浮立式管式爐使用注意事項：
1、爐管內氣壓不可高于0.02MPa
2、由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加*安全
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
4、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
5、石英管的長時間使用溫度＜1100℃
6、由對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等
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