流化床立式管式爐爐管為高純石英管,爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨定制。.粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域,進行沉積實驗
用途范圍:
SGM 實驗室流化床管式爐系統(tǒng)是一款流化床立式管式爐,專門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應(yīng)氣體和均勻地通過反應(yīng)區(qū)固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)爐體設(shè)計為開啟式,當實驗結(jié)束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應(yīng)后的顆粒。
注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū),所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量等
主要技術(shù)參數(shù):
電爐名稱 | 帶超聲霧化的流化床管式爐 |
基本參數(shù) | 設(shè)計工作溫度:1100℃; 設(shè)計升溫速率:≤20℃/min; 加熱區(qū):200mm(單溫區(qū)) 電壓:AC 220V單相, 50/60 Hz ; |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風冷系統(tǒng) 爐體設(shè)計為開啟式,以方便放樣和取樣 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有美國進口1760度高溫氧化鋁涂層,可延長儀器使用壽命和提高加熱效率 |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 |
加熱爐管 | 包含一異型石英管 爐管尺寸:兩端:25 mm O.D,22 mm I.D 中間:50 mmO.D,44 mm I.D 詳細尺寸請點擊左圖查看) 中間區(qū)域的大尺寸確保了物料高的氣動性 |
多孔石英板 | 孔徑:5~15 um 尺寸:22mmO.D x 4mm厚 |
密封法蘭 | 底部法蘭:常規(guī)設(shè)計1”不銹鋼真空法蘭,配備1/4”進氣口用于懸浮氣體進入 頂部法蘭:特殊設(shè)計的1”法蘭,可實現(xiàn)前驅(qū)體氣體或逆流氣體的進氣和出氣,請點擊圖片查看詳情。 |
可選配件 | 多路氣路系統(tǒng)可用于氣體控制 氧分析儀:氧分析儀可安裝在系統(tǒng)中用于檢測氣體中的氧含量從而防止或減少CVD過程中的氧化現(xiàn)象。點擊下圖了解更多詳細信息。 |
溫控系統(tǒng) | 可設(shè)置30段升溫,保溫和降溫程序。 采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度,并帶有過熱和斷偶保護 控溫精度:±1℃ |
質(zhì)保期 | 一年保質(zhì)期,終生維護(不包含爐管、密封圈及加熱元件等耗材) |
流化區(qū)域 | 配有一個2.4MHz超聲霧化儀,可將液體霧化成亞微米級液滴引入到加熱流化區(qū)域進行熱解或粉末表面的CVD涂層包覆 固體顆粒被底部通入的向上氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi) 可提供的熱傳導(dǎo)及顆粒表面的均勻包覆 爐體設(shè)計為開啟式,當實驗結(jié)束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應(yīng)后的顆粒。 注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū),所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量 |
超聲霧化儀 | 220VAC,2.4MHz高頻超聲波霧化器,可將溶液霧化為亞微米級顆粒 液體罐上涂有氟化物,并采用氟膠密封圈密封 可設(shè)置超聲儀功率0-99%,每次按5%增加 外部配備有氟化物光學(xué)傳感器(耐腐蝕)以及閥門來確保內(nèi)部液面處于合適高度,避免液體量過少 316不銹鋼三通,帶有1/4英寸轉(zhuǎn)換接頭,用于通入載流氣體 |
使用注意事項
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),?爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
石英管的長時間使用溫度<1100℃
對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)