微小氣體質(zhì)量流量計(jì)

微小氣體質(zhì)量流量計(jì)采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。
服務(wù)熱線：

一、 產(chǎn)品概述
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。

二、 技術(shù)參數(shù)
2.1  測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2   流量范圍：DN3 10-100ml/min  
                       100-1000ml/min
                       DN4   250-2500ml/min
                       DN6   1000-10000ml/min
                       DN8   1500-15000ml/min
                       DN10  2500-25000ml/min   
                       DN18   10-100SLM       
                       注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;
(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。
 (c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大
 (d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定
2.3   流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍：0-55℃；
2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6   供電電源：24VDC±10%；
2.7   輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；
2.8   環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9   顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。