JJYY-135WL-135℃水汽捕集泵的詳細(xì)資料: |
-135℃水汽捕集泵 應(yīng)用原理: 在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。 深冷泵的工作原理:將一個能到-120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應(yīng),迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間)、獲得潔凈的真空環(huán)境(真空度可提高半個數(shù)量級,達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。 -135℃水汽捕集泵在實際應(yīng)用當(dāng)中,根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類(見圖): 1、水汽捕集器 它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置,使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫,避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜,影響下次抽真空。 2、低溫冷阱 放在油擴(kuò)散泵的泵口,高閥以下,它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油,同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無需除霜裝置。 根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝. 本公司研發(fā)生產(chǎn)的-135℃深冷水汽捕集泵,采用單臺壓縮機(jī)、自動復(fù)疊制冷方式、進(jìn)口壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?;旌闲椭评鋭┥a(chǎn),替代液氮,節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點,其性能指標(biāo)在國內(nèi)處于地位,達(dá)到甚至超過水平。 -135℃水汽捕集泵主要的性能特點 1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%; 2、降溫迅速,3分鐘內(nèi)制冷到-120℃,zui低可到-150℃; 3、2分鐘熱氣除霜,迅速回溫,5分鐘可再降溫; 4、一臺設(shè)備可設(shè)計兩路負(fù)載輸出; 5、進(jìn)口壓縮機(jī),環(huán)?;旌闲椭评鋭? 6、完善的自動化控制; 7、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫 度顯示; 8、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示,可以開始制冷; 9、除霜溫度自由設(shè)定; 10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示; 11、缺水、水溫過高報警; 12、壓縮機(jī)排氣過高、壓力過高保護(hù); 13、電源斷電、缺相報警; 14、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換; 15、R232計算機(jī)數(shù)據(jù)接口,計算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。 -135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
冷凝盤管的制作 根據(jù)設(shè)備的實際情況,我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤管。 輸入、輸出的接口 冷凝盤管從真空腔內(nèi)穿過腔壁時,由于管道溫度與腔壁溫差較大,如果直接焊接,冷量將會有較大損失,腔壁結(jié)霜嚴(yán)重。這就需要一個長約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來解決,它可以做成活口(見圖),也可以不用密封墊,直接焊接到真空腔壁。
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