TRACER 2 型超高精度氣體水份測量儀
產品簡介TRACER采用的P2O5水份分析技術,響應速度愉,為超高純的氣體的水份檢測提供高精度低成本的解決方案。
TRACER 的CELL(傳感器)是由嵌入一根中空玻璃管的兩級電極組成,該兩級電極上涂布P2O5薄膜。當樣品氣體以恒定的流速通過CELL時,CELL上的P2O5薄膜會吸收氣體中水分,在兩組電極通電后,被吸收水分子會被電解,從而產生電流。根據法拉第原理,由電流換算出CELL所吸收的水分,即可精確地測量出所采樣氣體中的水分含量.
在進行氣體采樣時,TRACER的旁路系統(tǒng)(美國號5199295)可自動調節(jié)CELL中的水分濃度,使CELL中的水分濃度保持恒定,由此在測量過于干燥的氣體時,CELL也不會因過于干燥而發(fā)生裂變。
產品特點
氣路設計的優(yōu)勢
TRACER擁有極快的響應速度
延長了CELL的使用壽命
TRACER 的應用
半導體制造
惰性氣體及特殊氣體檢測
研發(fā)實驗室
部件及系統(tǒng)測試
儀器特性
模塊化配置
低成本使用
操作簡便
在線服務
便攜式
參數(shù)規(guī)格
檢測范圍
惰性氣體 :0-2000ppbv
氧氣:0-1200ppbv
氫氣:0-500ppbv
準確性:
惰性氣體模式:計數(shù)的4%或4ppb,取大值
氫氣或氧氣模式:當讀數(shù)小于50ppb時,精確性是讀數(shù)的6%或6ppb,取大值:當讀數(shù)大于50ppb時,精確度是讀數(shù)的2%或2ppb,取大值
測量極限:1ppbV
傳感器:MEECO公司的counterflow cell(美國號:5225065,5198094)
采樣氣體種類:空氣、氮氣、二氧化碳、氫氣、氧氣、氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、四氟化碳*、甲烷*、非毒性和腐蝕性氣體(帶*氣體在使用時須謹慎,使用前請咨詢MEECO公司)
采樣氣體進口壓力:30-150PSIG(2-10.2BAR)
流量控制:內含質量控制器,推薦氣體流量在1200SCCM以上
信號輸出:0-5V模擬輸出,RS-232或RS485通訊端口
操作界面:5鍵操作
氣體接口:1/4”VCR
使用環(huán)境:10-40℃,20%-80%的相對濕度,無凝結、無毒性的大氣
儀器尺寸:19長*17寬*7高 英寸