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滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱天津天有利科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地天津市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/8/7 15:52:23
  • 訪問次數(shù)204
產(chǎn)品標簽:

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天津天有利科技有限公司是集研制、開發(fā)、生產(chǎn)制造、為一體的企業(yè),致力于電加熱技術、溫度自動控制和凈化技術的研究與開發(fā)。 本公司專業(yè)生產(chǎn)各種實驗電爐、高低溫實驗箱、電熱恒溫實驗箱、恒溫水浴鍋、恒溫水箱、凈化工作臺。公司堅持質(zhì)量至上,誠信為本的經(jīng)營理念。各系列產(chǎn)品進入全國各地的大專院校、科研院所、醫(yī)療、醫(yī)藥、農(nóng)業(yè)、化工、食品工業(yè)、環(huán)境保護、工礦企業(yè)的實驗室、化驗室及檢測中心。公司產(chǎn)品規(guī)格齊全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、外型美觀、價格合理、交貨及時、服務周到。對產(chǎn)品實行三包并提供可靠的售后服務。 公司承接大型的高低溫烘箱及非標準產(chǎn)品的加工制作,并為客戶提供技術咨詢。為了更好的為廣大客戶服務,本公司還專門設立了儀器事業(yè)部,專業(yè)銷售各種實驗儀器設備. 真誠歡迎各界朋友光臨,真誠期待與您的合作。
烘箱
滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng).png               

            滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品描述:

該爐TL1200真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。

滑竿式迷你PECVD系統(tǒng)在傳統(tǒng)PECVD系統(tǒng)基礎上實現(xiàn)了快速加熱、冷卻功能,該安裝一對滑軌,可手動滑動。采用雙層殼體結構,射頻電源信號頻率13.56MHZ±0.005%。該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時會自動切斷電源。加熱和冷卻速率可達100°C/min。為取得加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/S,是低成本快速熱處理的理想爐。


技術參數(shù):

1.額定溫度:1100℃                     2.溫度:1200℃                         3.電壓:220V

4.加熱段:205mm+205mm                  5.溫控方式:智能化30段可編程控制           6.熱電偶:K        

7.加熱元件:瑞典Kanthal-A1電阻絲

8.升溫速率:30℃/min    推薦升溫速率:15℃/min       

9.等離子射頻電源輸出功率:50-500w可調(diào)±1% 穩(wěn)定性

頻率:13.56MHz ±0.005%

噪聲:<50dB

冷卻:空氣冷卻

輸入功率:AC 220V,500W       

10真空泵和閥門:采用KF25系列波紋管和精密球閥連接

真空度可達10-3Pa

數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值

11.質(zhì)量流量計:內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量訓科準確的控制氣體流量

氣體流量范圍為0-200sccm,誤差:0.02%

一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況

不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入的數(shù)量

進氣口:采用國際標準雙卡套接頭




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