規(guī)格：
貨號 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
X1 軸 | 測量范圍 | 200mm | ||
分辨力 | 0.00625μm | |||
長度基準(zhǔn) | 激光全息測微計 | |||
驅(qū)動速度 | CNC型 | 40mm/s | ||
操縱桿 | 0 - 40mm/s | |||
測量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) | |||
測量方向 | 向前/ 向后 | |||
直線度 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測針) | (0.1+0.0015L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | (0.05+0.0003L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | |
(使用二倍長型測針) | (0.2+0.0015L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | (0.1+0.0015L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | ||
精度 (20oC) | ±(0.3+0.002L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | ±(0.16+0.001L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | ||
Z1 軸 (檢出器) | 測量范圍 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測針) | 12mm | 12μm |
(使用二倍長型測針) | 24mm | 24μm | ||
分辨力 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測針) | 0.004 μm | 0.001 μm | |
(使用二倍長型測針) | 0.008 μm | 0.002 μm | ||
測針針尖垂直運動 | 弧形移動 | |||
長度基準(zhǔn) | 激光全息測微計 | |||
精度 (20oC) | (20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm H: 測量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)μm H: 測量高度 (mm) | ||
測力 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測針) | 4mN (固定) | ||
(使用二倍長型測針) | 0.75mN(固定) | |||
跟蹤角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根據(jù)表面粗糙度) | |||
測針針尖形狀 | 標(biāo)準(zhǔn)測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 | ||
標(biāo)準(zhǔn)球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石 2倍測針 | |||
2倍測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 | |||
2倍測針 | - | 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2μm, 金剛石針尖 2倍球頭測針 | ||
2倍球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石 | |||
測針方向 | 向下 | |||
Z2 軸 (立柱) | 行程范圍 | Z2 軸 (立柱, S 型) | 300mm | |
Z2 軸 (立柱, H 型) | 500mm- | |||
分辨力 | 0.05μm | |||
長度基準(zhǔn) | 反射型線性編碼器 | |||
驅(qū)動速度 | CNC型 | 200mm/s | ||
操縱桿 | 0 - 50mm/s | |||
基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
基座材料 | 花崗巖 | |||
注:雖然天然石材測量桌的外觀各有不同，但材料的穩(wěn)定性是值得信賴的。
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