規(guī)格:
型號(hào) | RA-H5200AS | RA-H5200AH | ||
旋轉(zhuǎn)工作臺(tái) | 旋轉(zhuǎn)精度(JIS B 7451-1997) | 徑向 | (0.02+3.5H/10000)μm H: 為測(cè)量高度 (mm) | |
軸向 | (0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)軸的距離 (mm) | |||
旋轉(zhuǎn)速度 | 2, 4, 6, 10rpm (自動(dòng)定心: 20rpm) | |||
工作臺(tái)有效直徑 | Φ300mm | |||
調(diào)心范圍 | ±5mm | |||
調(diào)水平范圍 | ±1o | |||
臺(tái)面承重 | 80kg (自動(dòng)定心: 65kg) | |||
測(cè)量直徑 | Φ400mm | |||
工件直徑 | Φ680mm | |||
垂直移動(dòng) | 移動(dòng)直線度(λc2.5) | 窄范圍 | 0.05μm/100mm | |
寬范圍 | 0.14μm/350mm | 0.2μm/550mm | ||
與轉(zhuǎn)臺(tái)軸平行度(母線要素基準(zhǔn)) | 0.2μm/350mm | 0.32μm/550mm | ||
水平移動(dòng)(從工作臺(tái)上部) | 350mm | 550mm | ||
定位速度 | : 60mm/s (測(cè)量時(shí): 0.5, 1, 2, 5mm/s) | |||
檢測(cè)高度 | 350mm | 550mm | ||
檢測(cè)深度 (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭) | Φ32×85mm (深度) | |||
Φ7×50mm (深度) | ||||
X軸 | 直線度 (λc2.5) | 0.4μm/200mm | ||
與轉(zhuǎn)臺(tái)軸垂直度 (母線要素基準(zhǔn)) | 0.5μm/200mm | |||
移動(dòng)范圍 | 225mm (–25mm ~ +200mm 從旋轉(zhuǎn)中心) | |||
定位速度 | : 50mm/s (測(cè)量時(shí): 0.5, 1, 2, 5mm/s) | |||
檢出器 | 測(cè)力 | 約 10 - 50mN, 1 - 5 級(jí) | ||
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)桿, 材質(zhì) | Φ1.6mm 硬質(zhì)合金 | |||
范圍 | 標(biāo)準(zhǔn) | ±400μm/±40μm/±4μm | ||
追蹤 | ±5mm | |||
其他 | 帶IN/OUT切換功能、測(cè)力切換功能(5級(jí)切換)、測(cè)桿角度指示 | |||
(±45o), Z軸方向沖擊探測(cè)功能、帶滑動(dòng)式檢出器(3姿勢(shì)規(guī)格) | ||||
其他 | 氣壓 | 0.39MPa | ||
空氣消耗量 (標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)) | 45L/min (120L/min 以上氣源) | |||
重量 | 測(cè)量主體 | 650kg | 670kg | |
防震臺(tái)架 | 170kg |