規(guī)格:
ULTRA QV 404 | ||
光學(xué)系統(tǒng) | PRO | |
測(cè)量范圍 (X×Y×Z) | 400×400×200mm | |
倍率裝置 | 可編程電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)1X-2X-6X | |
分辨力 | 0.01 μm | |
長度基準(zhǔn) | 線性編碼器 | |
影像裝置 | 黑白CCD(1/2型) | |
測(cè)量精度(E1)*1 | X.Y軸 | (0.25+L/1000)μm |
Z軸(全行程) | (1.5+2L/1000) μm (測(cè)量范圍: 200mm) | |
Z軸(50mm行程)*2 | (1.0+2L/1000) μm (測(cè)量范圍: 10 - 60mm) | |
測(cè)量精度(E2)*1 XY平面 | (0.5+2L/1000)μm | |
照明裝置 | 反射照明/ 透射照明/ 程控環(huán)形照明 | |
工作臺(tái)尺寸 | 493×551mm | |
工件重量 *3 | 40kg | |
主機(jī)外觀尺寸 (W×D×H) | 1172×1735×1910mm | |
主機(jī)重量 ( 包括機(jī)器設(shè)置臺(tái) ) | 約 2150kg |
*1 :根據(jù)本公司檢查方法,L為任意兩點(diǎn)間的尺寸(mm)。
*2 :工廠出貨檢查。
*3 :不包含的載重、集中載重。