特點(diǎn):
◆獨(dú)立的Z掃描儀和低噪音Z探測(cè)器可提供更準(zhǔn)確的讀數(shù)
◆XY平臺(tái)曲型底座可消除傳統(tǒng)原子力顯微鏡中的彎曲效應(yīng)
◆世界上真正的非接觸式原子力顯微鏡,更長(zhǎng)時(shí)間保持針尖的尖銳
◆精確成像,友好的用戶界面,自動(dòng)針尖靠近,和10次快速掃描設(shè)置
規(guī)格參數(shù):
型號(hào) | Park NX10 | |
掃描儀 | XY掃描儀 | 50um*50um(可選10um*10um或100um*100um) |
Z掃描儀 | 15um(可選30um) | |
形貌噪音 | <0.03nm(標(biāo)準(zhǔn)值0.02nm) | |
光學(xué) | 物鏡 | 10X(20X可選) |
電子 | ADC | 18個(gè)頻道 4個(gè)高速ADC頻道(50MSPS)24位ADC的X,Y和Z位置傳感器 |
DAC | 12個(gè)頻道 2個(gè)高速DAC頻道(50MSPS)20位DAC的X,Y和Z定位3個(gè)頻道的集成鎖定放大器 | |
樣品臺(tái) | XY平臺(tái)行程 | 20mm X 20mm |
Z平臺(tái)行程 | 22mm | |
聚焦平臺(tái)行程 | 15mm | |
樣品尺寸 | 高達(dá)50mm X 50mm最多厚20mm | |
物理信息 | 外形尺寸 | 700mm(長(zhǎng))X800mm(寬)X1300mm(高) |