大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔。
小型一體化設(shè)計(jì)。
操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式(PR510型)。
型號(hào) | PR510 |
模式 | DP模式,桶型 |
高頻輸出功率 | Max500W |
頻率 | 13.56MHz |
回調(diào)方式 | 自動(dòng)協(xié)調(diào) |
反應(yīng)腔 | 石英①215 x305mm |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(O2/CF4) |
控制 | 觸摸屏自動(dòng)控制 |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 |
外形尺寸 | 參照規(guī)格書 |
重量 | 參照規(guī)格書 |
電源 | 三相AC200V8A |