OmegaPrep RKD 研磨開(kāi)封機(jī)
Silicon back side preparation system
Large die back side thinning with minimal thickness variation大尺寸晶背減薄,維持最小的晶面變異
OmegaPrep 設(shè)計(jì)專門且特殊的功能,用于封裝芯片的減薄及拋光制備。通過(guò) OmegaPrep減薄和拋光的芯片,因?yàn)榭梢赃_(dá)成接近均勻的芯片厚度,所以適合于需要由晶背檢測(cè)的應(yīng)用, 它的特性還可以應(yīng)用在散熱片和散熱器的去除,以及塑料和芯片間隔材料。用來(lái)達(dá)成將封裝樣品中的芯片裸露出來(lái)。 它為整個(gè)晶背的樣品制備提供了一個(gè)易于使用的解決方案。 OmegaPrep 是一個(gè)小型,特殊設(shè)計(jì)的類似 CNC 加工系統(tǒng),用戶藉由圖形接口控制,操作員選擇所需的功能并輸入樣品的尺寸信息進(jìn)行操作。
OmegaPrep 具有自動(dòng)表面?zhèn)蓽y(cè)和剖析功能,在加上視頻對(duì)位裝置,使的操作上快速和容易。他不需要樣品調(diào)平裝置,因?yàn)?/span>
OmegaPrep 可以將精確地剖析樣品表面,再根據(jù)存儲(chǔ)的表面輪廓移動(dòng)工具。 這讓不平坦或翹曲的樣品在制作完成后厚度仍保持均勻。
樣品經(jīng)過(guò)處理后,過(guò)程參數(shù)可以保存為過(guò)程配方。 最多可保存 125 個(gè)配方,每個(gè)配方可以命名自己的配方名稱。*的夾具
可以容許樣品清潔或檢查,而不需要重新安裝固定樣品或重新對(duì)位。
待處理的樣品安裝在特殊的樣品治具上,用潤(rùn)滑劑和研磨液進(jìn)料進(jìn)行處理。 另外可以安裝在治具杯中。 允許讓樣品*泡入潤(rùn)滑劑或研磨液中使用標(biāo)準(zhǔn)的 ER-8 夾頭可以使用帶有 0.125 英寸或 3.00 毫米直徑軸的標(biāo)準(zhǔn)立銑刀。 可以使用研磨,研磨和拋光工具來(lái)覆蓋任何尺寸的樣品。 提供了接觸工具,用于在光滑表面以及可變表面(例如錫球排列樣品)上進(jìn)行表面測(cè)量。
OmegaPrep 的剖析加工能力可用于移除散熱器或通過(guò)移除基板來(lái)暴露 Flip chip 芯片下方的錫球 Bump。
OmegaPrep 有足夠能力可以加工 3 毫米厚的銅散熱片,并同時(shí)保持表面輪廓。 剖析能力可以用來(lái)去除散熱材料而不損壞
下面的硅芯片。 它還可以從器件上去除封裝的包覆物質(zhì),用來(lái)露出引線框架或芯片。
迭 DIE、多層芯片樣品可以通過(guò)特殊設(shè)計(jì)程序逐層移除。該過(guò)程測(cè)量樣品表面的輪廓,然后根據(jù)測(cè)量輪廓的程序制作。 該過(guò)程可以在移除設(shè)定的厚度后自動(dòng)結(jié)束,也可以通過(guò)手動(dòng)及時(shí)調(diào)整移除深度,并傾斜制作中的輪廓來(lái)協(xié)助完成樣品。操作者可以透過(guò)層與層的顏色變化來(lái)確定每層的裸露。
藉由可以重復(fù)使用的特殊工具,藉由更換拋光片或拋光墊對(duì)樣品進(jìn)行研磨和拋光。精準(zhǔn)地控制工具垂直位置,讓切削力在垂直方向幾乎是零,保持切削力進(jìn)作用在樣品表面的平面中。 這可以防止已經(jīng)封裝完成的樣品破裂。
通過(guò)適當(dāng)?shù)墓ぞ哌x擇和樣品參數(shù),我們可以在樣品減薄后保持原始表面輪廓+/- 5 微米。 在制備的樣品芯片具有與原始接近的均勻厚度。
•快速簡(jiǎn)易的設(shè)置,并包含視覺(jué)對(duì)位能力
•四角標(biāo)定功能容許待工作樣品有旋轉(zhuǎn)角度的誤差
•簡(jiǎn)單的操作接口可達(dá)成復(fù)雜的編成程序
•自動(dòng),系統(tǒng)化減薄及拋光程序
•程控工作深度,精度達(dá)到 +/- 1 微米
•可移除樣品治具,可以允許整個(gè)取下觀察清潔但而不須將樣品分離或重新固定在治具上
•拋光研磨時(shí),工具依照剖析后的曲面移動(dòng)
•在樣品裝置上不需要調(diào)平
•芯片減博后最終厚度變異量小于 +/- 0.005 mm
•手動(dòng)輸入樣品厚度以進(jìn)行精確的厚度控制
•簡(jiǎn)易的移除散熱片,封裝材料及芯片固定膠層
•容易取得廉價(jià)的工具使用
•設(shè)備體積小- 占用較小的工作空間
•樣品制備時(shí),接近零的垂直應(yīng)力