激光橢偏儀 SE 400adv
激光橢偏儀SE 400adv測量透明薄膜的厚度和折射率指數(shù),具有測量速度、亞埃級別的厚度精度和折射率測定的精度。多角度測量允許使用激光橢偏儀SE 400adv表征吸收膜特征。
亞埃精度
穩(wěn)定的氦氖激光器保證了0.1埃精度的超薄單層薄膜厚度測量。
擴展激光橢偏儀的極限
性能優(yōu)異的多角度手動角度計和角度精度*的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。
高速測量
我們的激光橢偏儀SE 400adv的高速測量速度使得用戶可以監(jiān)控單層薄膜的生長和終點檢測,或者做樣品均勻性的自動掃描。
激光橢偏儀SE 400adv可用于從可選擇的、應(yīng)用特定的入射角度表征單層薄膜和基片。自動準直透鏡確保在大多數(shù)平坦反射表面的吸收或透明襯底上進行精確測量。多角度測量的*集成支持(40°—90°,5°步進),可用于確定層疊的厚度、折射率和消光系數(shù)。為了補償激光橢偏測量中厚度測量的模糊性,在厚度測量中也采用了多角度測量。
SENTECH激光橢偏儀SE 400adv,用于超薄單層薄膜的厚度測量。小型臺式儀器由橢偏儀光學部件、角度計、樣品臺、自動準直透鏡、氦氖激光光源和檢測單元組成。我們的激光橢偏儀SE 400adv的選項支持在微電子、光伏、數(shù)據(jù)存儲、顯示技術(shù)、生命科學、金屬加工等領(lǐng)域的應(yīng)用。