BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子源
安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)(離子鍍),能提高光學(xué)薄膜、保護(hù)膜、功能膜等的薄膜特性。另外,還可以用作等離子處理如對清洗基板和表面改性也很有效。
· 產(chǎn)品規(guī)格
放電輸出 | 3.2kW (160V, 20A) |
輔助輸出功率 | 2kW (200V, 10A) |
工作壓力 | 8×10-3 ~ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 氣氛) |
放電氣體(Ar) | 8 ~ 20mL/分 |
適用控制電源 | BS-92040CPPC |