實驗室紫外線臭氧清洗機是一款緊湊型紫外線臭氧清潔機,是一種專門用于去除基材樣品表面各種污染物的系統(tǒng)。紫外臭氧清洗機是一種簡單易用的干法工藝,是清潔表面的高效方法。清潔效果是通過用合適的燈照射基板表面引起的,在紫外光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生足夠的能量。它是霧化氧和高活性臭氧的光敏化氧化過程,直接到表面的UV輻射刺激反應(yīng),生產(chǎn)揮發(fā)性烴產(chǎn)物,通過氧化去除納米厚度的碳氫化合物導(dǎo)致具有顯著潤濕性的超潔凈表面。這在玻璃和陶瓷表面的薄膜涂覆工藝之前非常重要。
實驗室紫外線臭氧清洗機產(chǎn)品特點:
1.從基材樣品表面去除各種污染物
2.使用干法工藝以高效方法清潔表面
3.在254nm至185nm之間的波線上產(chǎn)生能量
4.有氧氣入口,臭氧去除泵,液晶顯示單元
5.樣品溫度測量功能
6.用于指示清潔完成的蜂鳴器
7. 用于鎖定進樣托盤的鎖定功能,以避免在操作過程中打開
實驗室紫外線臭氧清洗機技術(shù)參數(shù):
輸入功率 | AC 220V±10%, 50/60Hz |
紫外燈 | ? 紫外燈功率: 120W Max. ? 波長: 254 nm and 185 nm ? 大基材尺寸: 150×150 mm ( 6"×6") |
腔室和樣品臺 | ? 托盤尺寸: 176mm×168mm ? 樣品輸送:滑動 |
LCD顯示器 | ? 持續(xù)時間: 1 - 99 sec / min / hr ? 樣品溫度測量功能 |
合規(guī) | CE認證 |
保證 | 一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室無保修) |
應(yīng)用 | ? 消除SPT,AFM**和表面的分子污染 ? 固化UV-粘合劑 ? SAM表面的紫外光圖案化 ? 氧化PDMS ? 蝕刻、圖案、銳化 ? 清潔MEMS器件 ? 清潔襯底表面,如Si,Ge,GaAs和所有氧化物晶體襯底 |
易損零部件 | 更換燈 |