緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)采用不需要任何溶劑的干式清洗技術(shù),對(duì)清洗表面沒(méi)有損傷。采用大功率低壓石英汞燈,產(chǎn)生波長(zhǎng)185nm和254nm的紫外線,185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的臭氧分子O3,254nm的光同時(shí)激發(fā)清洗表面的有機(jī)分子,使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短,且同時(shí)也被254nm的光分解,因此可調(diào)節(jié)樣品臺(tái)到燈管的距離來(lái)優(yōu)化性能。
緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):
輸入功率 | AC 110V or AC 208~240V( 可選的) |
紫外燈 | ? 固體金屬雙波汞燈 ? 紫外燈功率:大55W。 ? 波長(zhǎng):254nm和185nm ? 紫外燈使用壽命:2500小時(shí) ? 紫外線照射面積:100×100 mm(4”×4”) ? 峰值紫外線強(qiáng)度:4.6毫瓦/平方厘米。 |
腔室和樣品臺(tái) | ? 外形尺寸:9 1/2”×7 7/8”×6” ? 抽屜尺寸:5 1/4”×5 1/4”×1” ? 抽屜到燈的距離:1 1/16“ ? 從基座到燈的距離:5/16“ ? 硼硅酸鹽玻璃基座:4”×4”×3/4” ? 18號(hào)鋼制底盤(pán)和蓋板,粉末涂層 ? 總重量:9磅 |
合規(guī) | CE認(rèn)證 |
保證 | 一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室不保修) |
環(huán)境要求 | ? 只在室內(nèi)使用;海拔高度可達(dá)5,562英尺; ? 溫度范圍41-104華氏度; ? 高相對(duì)濕度80%,高達(dá)87 華氏度線性降低至50%相對(duì)濕度,華氏104度; ? 主電源波動(dòng)不超過(guò)額定電壓的10%;過(guò)壓類別II; ? 污染等級(jí)2;臭氧水平(環(huán)境)測(cè)量<45 ppb。 |
Application | ? 清潔SPT,AFM**和表面的分子污染 ? 固化UV-粘合劑 ? SAM表面的紫外光圖案化 ? 氧化PDMS ? 蝕刻,圖案,銳化 ? 清潔MEMS器件 ? 清潔襯底表面,如Si,Ge,GaAs和所有氧化物晶體襯底 |