大功率程控伺服勻膠機(jī)主要特點(diǎn):
機(jī)身采用不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;
工業(yè)級(jí)別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用于trCYk設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;
可達(dá)到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。
大功率程控伺服勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):
旋涂程序:可以至多存儲(chǔ)100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可**到0.1秒
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-5000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm
旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性:1rpm
工藝時(shí)間設(shè)定:0-3000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec
支持wafer尺寸25px-300mm(12''圓晶)
旋涂作業(yè)均勻性:<±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
CY-HP-PC-S大功率程控伺服勻膠機(jī)優(yōu)點(diǎn):
內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
on®/polyethylene“密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)之底部(以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有味的散發(fā)。
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